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展品类别 | 直线电机 |
展品特点 | 小蓝动力导轨能达到±3μm的重复定位精度和最高4m/s的速度,媲美直线电机,价格便宜一半,精度高、速度快,结构简单、配件少。应用于锂电新能源行业、光伏行业、3C自动化行业、PCB行业都有广泛的应用场景。 |
典型应用产品 | 新能源汽车锂电池、光伏太阳能板、3C电子产品等 |
展品类别 | 半导体精密平台 |
展品特点 | 克洛诺斯气浮平台能够提供超精密检测解决方案,具有极高精度和运动稳定性,重复定位精度达到±50纳米,能实现极高的精度和极低的热膨胀系数,让系统在以生产快速运行时,针对晶圆制造环节进行精确检测,能准确识别和测量出晶圆的种种缺陷,保证成品的合格率。 |
典型应用产品 | 晶圆切割、晶圆检测、晶圆封装 |